每日速看!天准科技：Muetec的掩膜检测设备已经可以覆盖65-90nm工艺，目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度
来源：同花顺iNews 时间：2023-05-30 01:57:29


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同花顺（300033）金融研究中心5月29日讯，有投资者向天准科技提问， 日本对euv掩膜版设备进行了限制，MueTec的掩膜版检测设备能否进行国产替代

公司回答表示，您好，感谢对公司的关注。Muetec的掩膜检测设备已经可以覆盖65-90nm工艺，目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度。

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